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Yamato PiPi 小型プラズマ装置 (RIE)

生産者: Yamato
Model: PiPi
P/N: 00
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ホットライン: (+84) 968060220
電話番号: +84 (24）62923267

技術情報
生産者情報

Plasma mode: RIE (reactive ion etching)

Electrode structure: Parallel flat panel type

Electrode dimensions: W130×D130mm

Vacuum meter: Bourdon gauge

Controller: Sequencer

Matching method: Auto tuning

Internal dimensions（W×D×H mm）: 230×130×100mm

External dimensions（W×D×H mm）: 438×520×565mm

Power Source: 115V /220V Single phase with step-down transformer

Weight: 50kg

Details

Datasheet

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