Máy xử lý plasma Nordson AP-1000 (127 lít)

Kích thước vỏ

Rộng x Sâu x Cao – Footprint: 680x1127x1890 (26.77x62.3x74.4 in.)

Trọng lượng tịnh: 485 kg (1069 lbs.)

Khoảng cách thiết bị: Bên phải, bên trái – 153 mm (6 in.), phía trước – 680 mm (27 in.), phía sau – min 483 mm (19 in.)

Buồng

Thể tích tối đa: 127 lít (7774 in³)

Cấu hình điện cực thay đổi: Nguồn-Đất, Nguồn-Đất, Nguồn-Nguồn

Số vị trí điện cực: 14

Bước điện cực:

25.4 mm (1 in.) cho 600 W

50.8 mm (2 in.) cho 1000 W

Điện cực (WxD)

Khu vực làm việc có nguồn: 349x425 mm (13.74x16.73 in.)

Khu vực làm việc có lỗ/đất: 384x425 mm (15.12x16.73 in.)

Khu vực làm việc nổi: 349x425 mm (13.74x16.73 in.)

RF

Công suất tiêu chuẩn: 600 W

Tần số: 13.56 MHz

Kiểm soát khí

Lượng lưu lượng có sẵn: 100, 250, 500, or 1000 sccm

Số lượng MFC tối đa: 3

Hệ thống điều khiển và giao diện

Điều khiển phần mềm: Điều khiển EPC với giao diện màn hình cảm ứng

Giao diện từ xa: PlasmaLINK, ProcessLINK, SECS/GEM

Bơm chân không Bơm ướt tiêu chuẩn: 53 cfm với bộ loại bỏ sương dầu oxy

Bơm khô thanh lọc tùy chọn: 63 cfm

Lưu lượng bơm thanh lọc N2: 14 slm